產(chǎn)品中心
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PRODUCTS
電阻加熱PVT SCR950系列碳化硅單晶爐
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用多段式電陽加熱，可實(shí)現(xiàn)長晶過程中溫度梯度的動態(tài)調(diào)整；
◆ 同時(shí)，先進(jìn)的氣流路徑規(guī)劃及熱場防護(hù)技術(shù)，可降低長晶過程的熱場衰減，增加熱場使用壽命，提升溫場穩(wěn)定性；
◆ 配備長晶界面可視化系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測晶體生長狀態(tài)以提升長晶效率。