產(chǎn)品中心
SCMP系列感應加熱PVT碳化硅單晶爐
所屬分類：
應用領域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
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產(chǎn)品描述
◆ 設備采用雙線圈感應加熱系統(tǒng)，可實現(xiàn)獨立運動控制及功率加載，改善單線圈系統(tǒng)軸向徑向溫梯耦合嚴重的問題；
◆ 同時配備一體式焊接結(jié)構(gòu)石英腔室、 離線式裝料系統(tǒng)、高精度控溫控壓技術和感應線圈高精度安裝與定位等技術，可實現(xiàn)設備高穩(wěn)定性運行。