產(chǎn)品中心
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PRODUCTS
SCET420系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用先進的電磁屏蔽技術(shù)；
◆ 同時對真空、溫度等控制參數(shù)定點標定及二次校準，減小機差；
◆ 增強碳批量化生產(chǎn)的工藝可復(fù)制性。