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SCG300系列半導體級單晶硅爐
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SCG300系列半導體級單晶硅爐

應用領域：主要應用于12英寸硅片制造。

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產品描述

 

◆ 設備具有高穩(wěn)定性、高真空度、高可靠性的結構設計；
◆ 配備自主研發(fā)的功率控制、鎖拉速等生長控制算法；
◆ 熱場系統(tǒng)具有高水平微缺陷控制能力；
◆ 配合水冷套、超導磁場及基礎工藝包；
◆ 生長晶體可滿足COP-FREE硅片指標要求。

 

 

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