產(chǎn)品中心
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PRODUCTS
SCMP系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用雙線圈感應(yīng)加熱系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立運(yùn)動(dòng)控制及功率加載，改善單線圈系統(tǒng)軸向徑向溫梯耦合嚴(yán)重的問題；
◆ 同時(shí)配備一體式焊接結(jié)構(gòu)石英腔室、 離線式裝料系統(tǒng)、高精度控溫控壓技術(shù)和感應(yīng)線圈高精度安裝與定位等技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)設(shè)備高穩(wěn)定性運(yùn)行。