產(chǎn)品中心
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SCET420系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
所屬分類(lèi):
應(yīng)用領(lǐng)域:主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用先進(jìn)的電磁屏蔽技術(shù);
◆ 同時(shí)對(duì)真空、溫度等控制參數(shù)定點(diǎn)標(biāo)定及二次校準(zhǔn),減小機(jī)差;
◆ 增強(qiáng)碳批量化生產(chǎn)的工藝可復(fù)制性。
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