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SCET420系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
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SCET420系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐

所屬分類(lèi)：

應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。

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產(chǎn)品描述

 

◆ 設(shè)備采用先進(jìn)的電磁屏蔽技術(shù)；

◆ 同時(shí)對(duì)真空、溫度等控制參數(shù)定點(diǎn)標(biāo)定及二次校準(zhǔn)，減小機(jī)差；

◆ 增強(qiáng)碳批量化生產(chǎn)的工藝可復(fù)制性。

 

 

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