產(chǎn)品中心
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JSSD系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可方便切換晶體生長(zhǎng)尺寸和石英腔室冷卻方式；
◆ 全金屬密封結(jié)構(gòu)可以降低漏率；
◆ 旋轉(zhuǎn)液動(dòng)力的冷卻方式提升了冷卻均勻性；
◆ 高精度控溫控壓及遠(yuǎn)程監(jiān)控技術(shù)進(jìn)一步提升了設(shè)備自動(dòng)化程度。
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