產(chǎn)品中心
產(chǎn)品中心
PRODUCTS

SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐
所屬分類:
應(yīng)用領(lǐng)域:主要用于碳化硅單晶襯底。
如果您希望獲取更多產(chǎn)品信息,歡迎聯(lián)系我們
產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用TSSG法長晶,可獲得更高質(zhì)量的晶體;
◆ 配備CCD晶體直徑監(jiān)測系統(tǒng)、厚度監(jiān)測系統(tǒng),實時監(jiān)測晶體生長狀態(tài)以提升長晶效率;
◆ 配合擴徑工藝,可實現(xiàn)大尺寸碳化硅單晶生長,同時可獲得高載流子濃度的P型碳化硅單晶。