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SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐
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SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐

所屬分類:

應(yīng)用領(lǐng)域:主要用于碳化硅單晶襯底。

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產(chǎn)品描述

 

◆ 設(shè)備采用TSSG法長晶,可獲得更高質(zhì)量的晶體;

◆ 配備CCD晶體直徑監(jiān)測系統(tǒng)、厚度監(jiān)測系統(tǒng),實時監(jiān)測晶體生長狀態(tài)以提升長晶效率;

◆ 配合擴徑工藝,可實現(xiàn)大尺寸碳化硅單晶生長,同時可獲得高載流子濃度的P型碳化硅單晶。

 

 

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