產(chǎn)品中心
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SCG400系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐
所屬分類:
應(yīng)用領(lǐng)域:主要應(yīng)用于12英寸重?fù)焦杵?2-18英寸半導(dǎo)體硅耗材制造。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備具有大尺寸、高抽速的真空設(shè)計(jì);
◆ 配備先進(jìn)的液面距測(cè)量、寬幅爐壓精確控制、氧化物處理等系統(tǒng);
◆ 生長(zhǎng)晶體可滿足12英寸重?fù)焦杵?2-18英寸硅單晶耗材指標(biāo)的要求。
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