產(chǎn)品中心
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PRODUCTS
SCG300系列半導(dǎo)體級單晶硅爐
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于12英寸硅片制造。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備具有高穩(wěn)定性、高真空度、高可靠性的結(jié)構(gòu)設(shè)計；
◆ 配備自主研發(fā)的功率控制、鎖拉速等生長控制算法；
◆ 熱場系統(tǒng)具有高水平微缺陷控制能力；
◆ 配合水冷套、超導(dǎo)磁場及基礎(chǔ)工藝包；
◆ 生長晶體可滿足COP-FREE硅片指標(biāo)要求。