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SCG200系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐
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SCG200系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐

應(yīng)用領(lǐng)域:主要應(yīng)用于8英寸硅片制造。

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產(chǎn)品描述

 

◆ 設(shè)備具有高穩(wěn)定性、高可靠性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);

◆ 配備了自主研發(fā)的晶體生長(zhǎng)控制系統(tǒng);

◆ 配合低能耗、高清潔度熱場(chǎng)系統(tǒng)及超導(dǎo)磁場(chǎng),可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)長(zhǎng)晶;

◆ 生長(zhǎng)晶體可滿足半導(dǎo)體級(jí)8英寸輕摻硅片指標(biāo)要求。

 

 

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